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              產品詳情
              • 產品名稱:三源高真空蒸發鍍膜儀

              • 產品型號:CY-1800X-TE3-SS
              • 產品廠商:成越科儀
              • 產品文檔:
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              簡單介紹:
              三源高真空蒸發鍍膜儀應用領域: 金屬和介電膜 薄膜傳感器的制造 光學元件 納米與微電子 太陽能電池
              詳情介紹:

              三源高真空蒸發鍍膜儀,設備采用前開門式真空腔體設計,腔體空間大,可拓展性強,能夠滿足多樣式大尺寸樣品的蒸發鍍膜。腔體內配有上置樣品臺,可根據用戶樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。樣品臺可旋轉、加熱,所有操作均通過觸控屏集成控制。設備的真空泵組為兩級式真空系統,由雙極旋片真空泵和渦輪分子泵組成,可為真空鍍膜試驗提供清潔無油的高真空的環境;真空系統內含有完善的氣動閥系統,用戶可通過觸控屏進行一鍵式操作實現抽取真空、不停機取放樣、完全停機等操作。

               三源高真空蒸發鍍膜儀詳情介紹:

               本設備的蒸發源共三組,采取鎢舟蒸發源,水冷式銅電極,可*大支持260A的大電流,加熱溫度*高可達1800℃,可實現多種難熔金屬的蒸鍍,三組獨立熱蒸發源,不會導致鍍材互相污染。本設備采用一體化設計,腔體和電控部分左右分置,實現了水電分離,有力的保證了用戶的**。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結合的設計,真空系統、樣品臺等輔助功能通過觸控屏一鍵操作,通電蒸發、膜厚控制等通過面板獨立操作,在盡可能方便用戶的同時規避了誤操作的可能。該設備設計完善性能優越,是實驗室高精度蒸發鍍膜試驗的必備之選。

               三源高真空蒸發鍍膜儀應用領域:

              金屬和介電膜

              薄膜傳感器的制造

              光學元件

              納米與微電子

              太陽能電池

                三源高真空蒸發鍍膜儀技術參數:

              三源高真空蒸發鍍膜儀

              樣品臺

              尺寸

              *大支持φ150mm樣品

              功能

              可旋轉,*高加熱500

              蒸發源

              數量

              鎢舟x3

              電源

              每個蒸發源配一組獨立電源;三個蒸發源共三組獨立電源

              真空腔體

              腔體尺寸

              φ300x400mm

              觀察窗口

              前置φ100mm

              腔體材料

              304不銹鋼

              開啟方式

              前開門式

              膜厚控制(選配)

              晶振式膜厚測量儀,可選多通道膜厚控制儀

              真空系統

              前級泵

              雙極旋片泵

              抽氣接口

              KF16

              次級泵

              渦輪分子泵

              抽氣接口

              CF160

              真空測量

              電阻+電離

              復合真空規

              排氣速率

              機械泵1.1L/s

              分子泵 600L/s

              極限真空

              1.0E-5Pa

              供電電源

              AC 220V 50/60Hz

              抽氣速率

              旋片泵:1.1L/S

              控制系統

              PLC自動控制

              操作界面:觸控屏+操作面板

              (觸摸屏可控制沉積過程和快速數據輸入;用戶友好 PLC 軟件系統,可以通過網絡更新)

               

              其他

              供電電壓

              AC380V,50Hz

              整機尺寸

              1000mm X 800mm X 1500mm

              整機功率

              5kW

              整機重量

              350kg

              豫公網安備 41019702002438號

              学生小泬
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