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    產品詳情
    • 產品名稱:近距離有機物蒸發鍍膜爐

    • 產品型號:CY-1200X-RTP-II-5
    • 產品廠商:成越科儀
    • 產品文檔:
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    簡單介紹:
    近距離有機物蒸發鍍膜爐是一種雙加熱區快速熱處理爐,具有11"外徑的石英管。它是專為PVD或CSS(近距離升華)薄膜涂層3英寸直徑或2"×2"。近距離蒸發鍍膜爐采用兩組鹵素加熱器(頂部和底部),zui大加熱速率20oC/s。兩個30段精密溫度控制器內置,精度為+/-1oC。包括RS485端口和控制軟件,允許通過PC操作爐子和溫度曲線記錄。它是研究新一代太陽能電池薄膜的主要工具,如CdTe、硫化物和鈣鈦礦太陽能電池。
    詳情介紹:

    近距離有機物蒸發鍍膜爐是一種雙加熱區快速熱處理爐,具有11"外徑的石英管。它是專為PVD或CSS(近距離升華)薄膜涂層3英寸直徑或2"×2"。近距離蒸發鍍膜爐采用兩組鹵素加熱器(頂部和底部),zui大加熱速率20oC/s。兩個30段精密溫度控制器內置,精度為+/-1oC。包括RS485端口和控制軟件,允許通過PC操作爐子和溫度曲線記錄。它是研究新一代太陽能電池薄膜的主要工具,如CdTe、硫化物和鈣鈦礦太陽能電池。


    近距離蒸發鍍膜爐產品特點:

     1、為了減小熱輻射和達到快速冷卻的效果,加熱元件被嵌在水冷裝置上。
     2、緊貼頂部加熱元件上裝有一氮化鋁基片(Φ76mm×0.5mm),使得樣品基片上的溫度更加均勻。
     3、3″的石墨坩堝可放于底部加熱元件上,用于盛放蒸發料。
     4、真空法蘭通過兩個硅膠O型圈進行密封,通過機械泵其腔內真空度可達10-2torr,通過分子泵真空度可達10-5torr。
     5、兩個真空法蘭都可以通過手動操作進行上下移動。
     6、一個數字式真空顯示計安裝在法蘭頂部,可以準確測量腔內真空度。

    近距離蒸發鍍膜爐技術規格:

    爐體結構和真空室

    ?    雙加熱器,兩個溫度控制器,雙通道氣體流量計集成在移動鋁合金框架中

    ?    腔室由高純度熔融石英管制成

    ?    石英管尺寸:11”OD / 10.8”ID×9”H

    ?    真空法蘭由316不銹鋼制成

    ?    外形尺寸:850(長)×745(寬)×1615(高)mm

    真空法蘭

    ?    帶有一個KFD-25真空端口和兩個氣體出口(需要1/4"管)的頂部法蘭可以手動上下滑動,輕松裝卸基板和蒸發材料

    ?    底部法蘭有一個KFD-25真空口,帶兩個進氣口(需要1/4"管)和針閥

    ?    法蘭由雙硅膠O形圈密封,可通過機械泵實現10E-2 Torr的真空壓力,通過分子泵實現10E-5 Torr(不包括真空泵,請單獨訂購)

    ?    精密防腐數字真空計是標準包裝

    氣體流量計

    控制面板上安裝了兩個浮子表,測量范圍為:

    ?    16-160 mL / m

    ?    400 - 4000 mL / m(用于清洗目的)

    加熱器和樣品架

    ?    兩個短波紅外燈作為加熱元件,用于快速加熱。

    ?    兩個加熱器之間的距離可在10 - 50 mm之間調節

    ?    加熱器由不銹鋼制成,帶有水冷夾套,可減少熱輻射并實現快速冷卻

    ?    3"圓形晶圓支架內置頂部加熱器,可裝載基板

    ?    包括一個高導熱AlN板(3”直徑×0.5mm厚),它應放在基板的背面,使其均勻加熱

    溫度控制器

    ?    兩個精密數字溫度控制器,30段可編程,可獨立控制頂部和底部加熱器

    ?    每個控制器都具有PID自動調諧功能,以保護加熱器免受過沖和報警功能,以避免過熱和熱電偶斷開

    ?    安裝PC通信接口和軟件記錄溫度曲線

    工作溫度

    每個加熱器的zui高溫度:<=650℃

    兩個加熱器之間的zui大溫差:<=300℃取決于兩個加熱器之間的間距:

    ?    間距30mm zui大。溫差:315℃加熱底部

    ?    間距40mm zui大。溫差:350℃加熱底部

    ?    間距50mm zui大。溫差:僅在加熱底部395℃

    加熱和冷卻速度

    ?    加熱:<8oC/ s(僅加熱單個加熱器)

    ?    冷卻:<10oC/ s(600 - 100oC)Max.

    熱電偶

    兩個K型熱電偶(外露)分別安裝在頂部和底部加熱器上

    工作電壓

    208 - 240VAC,單相,20A空氣斷路器

    電力需求

    總計2200W(每個加熱器1100W)

    保證

    一年限制終身支持(石英管和加熱燈等消耗部件不在保修范圍內)

    免責聲明:

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