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              產品詳情
              • 產品名稱:卷對卷PECVD石墨烯制備設備柔性透明電極連續生產

              • 產品型號:CY-OTF-1200X-III-PE300-RR
              • 產品廠商:成越科儀
              • 產品文檔:
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              簡單介紹:
              卷對卷PECVD石墨烯制備設備主要應用于計算機和智能手機屏幕,超輕、柔性的太陽能電池,以及新型的發光設備和其他薄膜電子產品
              詳情介紹:

              卷對卷式PECVD是一套卷對卷石墨烯制備管式爐系統,設備由卷對卷銅箔收放密封裝置、1200°C三溫區管式爐、 真空機組3部分組成。此設備可用于大面積、高質量石墨烯及其他二維材料的規?;L。

              卷對卷式PECVD應用范圍:

              計算機和智能手機屏幕,超輕、柔性的太陽能電池,以及新型的發光設備和其他薄膜電子產品領域。

              等離子體增強化學氣相沉積

              卷對卷PECVD技術參數:

              性能指標和基本配置

              產品名稱

              卷對卷式PECVD

              產品型號

              CY-OTF-1200X-III-PE300-RR

              1000W等離子源

              ● 輸出功率:50-1000W*大可調±1%
              ● RF頻率: 13.56MHz,穩定性±0.005%
              ● 噪聲:≤55DB
              ● 冷卻:風冷
              ● 輸入功率:1KW  AC 220V

              三路質子流量計控制系統

              ● 電壓:AC220V/50Hz
              ● 功率:23W
              ● PLC觸摸屏控制
              ● 混氣罐尺寸:φ80*120mm
              ● 工作溫度:5~45℃
              ● *大壓力: 3x106 Pa
              ● 精度: ±1.5% FS
              ● 線性: ±(0.5-1.5)%F.S.
              ● 重復精度: ±0.2%F.S.
              ● 流量范圍:
              ● 一路: 1~50 SCCM (甲烷標定)
              ● 二路: 1~200 SCCM (氫氣標定)
              ● 三路: 1~200 SCCM (氬氣標定)
              氣體種類標定根據客戶要求可以進行其它選擇

              真空測量單元

              ● 型號:PCG-800
              ● 顯示范圍:3.8E-5 to 1125 Torr
              精度:
              ● 5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50
              ● 1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15
              ● 100 … 950 mbar % of reading ±5
              ● 950 … 1050 mbar % of reading ±2.5

              低真空機組(標配)

              ● 由雙旋機械泵、雙層立式油霧過濾器(PE材質)、電阻真空計以及連接管道接頭等組成
              ● 真空泵抽氣速率≥4.4L/s
              ● 極限真空度10-1Pa
              ● 真空計測量范圍10-1Pa-105 Pa

              卷對卷銅箔收放密封裝置

              ● 采用卷對卷收放卷機構進行銅箔的移動進出料,銅箔的移動速度為1-400mm/min可調;
              ● 配置一卷測試銅箔

              ● 收放卷機構別放置于管式爐兩端真空腔體內,保證銅箔可在密封生長條件下進行運動,實現大規模制備 。
              ● 收卷機構與管式爐之間設置冷卻裝置用于銅箔的快速冷卻。

              產品尺寸

              大約2400*800*1250mm

              產品重量

              大約720kg

              質量認證

              電器元件可選擇通過CE認證

              保修期

              一年保修,終身技術支持。
              特別提示:
              1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
              2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。


              豫公網安備 41019702002438號

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