• <menu id="omu4c"><strong id="omu4c"></strong></menu>
    <menu id="omu4c"><strong id="omu4c"></strong></menu>
    <menu id="omu4c"><strong id="omu4c"></strong></menu>
    <menu id="omu4c"><tt id="omu4c"></tt></menu>
    <menu id="omu4c"><menu id="omu4c"></menu></menu>
    產品詳情
    • 產品名稱:PECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備

    • 產品型號:CY-PECVD-R
    • 產品廠商:成越科儀
    • 產品文檔:
    你添加了1件商品 查看購物車
    簡單介紹:
    本產品為PECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備。PECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾。
    詳情介紹:

    旋轉PECVD 

    本產品為等離子增強回轉化學氣相沉積系統(旋轉PECVD),爐管采用變徑設計,中部管徑較粗且有有混料隔板,能夠隨著爐管的旋轉將粉體或者顆粒反復混合,通過機械傳動控制工作管能360°不間斷旋轉,使得管內物料攪拌混合獲得均勻受熱效果;設備另配有等離子發生裝置,采用電感耦合與爐管連接,產生的等離子能夠滿布爐管,有效的提高反應物活化能,降低反應溫度,提高反應效率。設備配有三路質量流量計及混氣裝置,可用于向路管內通入多種氣體,同時設備配有高性能機械泵,能夠快速將爐管抽至真空;通過泵和氣路的配合可以實現多種CVD工藝。旋轉裝置十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾。

    技術參數

    雙溫區管式爐

    產品型號

    CY-O1200-60IIC-R

    設備功率

    3KW

    爐管材質

    高純石英

    爐管尺寸

    Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm(石英異型管)

    爐膛長度

    440mm

    加熱區長

    200mm+200mm

    工作溫度

    0~1150℃

    極限溫度

    1200℃

    控溫精度

    ±1℃

    熱電偶類型

    K型熱電偶

    控溫模式

    30段程序控溫,PID參數自整定

    顯示模式

    高清全彩LCD觸控屏

    密封方式

    304不銹鋼真空法蘭

    供電電源

    AC:220V 50/60Hz  

    旋轉速度

    0~13rpm

    傾斜角度

    0~35°

    3路質量流量計

    產品型號

    CY-3Z

    氣路數量

    3路

    流量計類型

    質量流量計

    測量范圍

    A路:0~100sccm; B路:0~200 sccm; C路:0~500 sccm

    測量精度

    ±1.5%

    工作壓差

    0.1~0.5MPa

    管路接口

    1/4英寸卡套接頭

    供電

    AC220V 50/60Hz

    真空系統

    真空泵

    雙極旋片泵

    抽速

    1.1L/s

    抽氣接口

    KF16

    泵極限真空度

    10E-1Pa

    供電

    AC220V 50/60Hz

    射頻電源

    信號頻率

    13.56MHz±0.005%

    功率輸出范圍

    0~500W

    *大反射功率

    100W

    射頻輸出接口

    50Ω,N-Type,female

    功率穩定度

    ≤5W


    豫公網安備 41019702002438號

    少妇一级A片日本,久久无码字幕中文久久无码,最近更新中文字幕2019中文字幕
  • <menu id="omu4c"><strong id="omu4c"></strong></menu>
    <menu id="omu4c"><strong id="omu4c"></strong></menu>
    <menu id="omu4c"><strong id="omu4c"></strong></menu>
    <menu id="omu4c"><tt id="omu4c"></tt></menu>
    <menu id="omu4c"><menu id="omu4c"></menu></menu>