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    產品詳情
    • 產品名稱:RTP快速退火爐

    • 產品型號:CY-O1000-120I-T-RTP
    • 產品廠商:成越科儀
    • 產品文檔:
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    簡單介紹:
    RTP快速退火爐是我公司自主研發的功能強大的加熱設備。RTP快速退火爐采用進口紅外加熱管加熱,造型新穎結構合理,爐體和爐管可以自由滑動,可實現快速升降溫。
    詳情介紹:

            RTP快速退火爐是我公司自主研發的功能強大的加熱設備。RTP快速退火爐采用進口紅外加熱管加熱,造型新穎結構合理,爐體和爐管可以自由滑動,可實現快速升降溫。爐管內尺寸120mm,可以直接放下4英寸的材料,試樣反應區處在一個密閉的石英腔體內,在完成生產工藝的同時也大大降低了間接污染試樣的可能性。設備配備LCD高清觸摸屏,設定數據實驗操作均為圖文界面,操作方便快捷易上手,能夠大大提高您的實驗效率。設備預留了真空和氣路的快速接口,可以選購我們的真空系統和混氣系統一起使用。

    RTP快速退火爐應用領域:

      快速退火爐設備,可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化、擴散、化合物半導體退火、離子注入后退火、電極合金化、晶化和致密化、合金熔點分析、薄膜沉積等。

    RTP快速退火爐技術參數:

    產品型號

    CY-O1000-120I-T-RTP

    爐管材質

    高純石英

    爐管直徑

    120mm

    爐管長度

    500mm

    爐膛長度

    440mm

    加熱區長

    400mm

    恒溫區長

    200mm

    工作溫度

    01000

    升溫速度

    推薦80/s,快升溫速度200/s

    降溫速度

    200以上≤25min

    控溫精度

    ±1

    控溫模式

    30段或50段程序控溫

    顯示模式

    LCD觸摸屏

    密封方式

    304不銹鋼真空法蘭

    法蘭接口

    1/4英寸卡套接頭(?8寶塔嘴接頭)

    可抽真空

    4.4E-3Pa

    供電電源

    AC:220V 50/60Hz





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